日前，一款高檔機(jī)型—XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床在湖南大學(xué)研發(fā)成功。該項(xiàng)成果及其應(yīng)用，突破了我國(guó)半導(dǎo)體材料切割加工技術(shù)瓶頸，標(biāo)志著我國(guó)已成為全球少數(shù)幾個(gè)掌握高檔數(shù)控多線切割機(jī)床制造技術(shù)的國(guó)家之一，打破了過(guò)去瑞士、日本等國(guó)外進(jìn)口同類設(shè)備長(zhǎng)期壟斷國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的局面。
該項(xiàng)目由湖南大學(xué)與湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司共同研發(fā)，填補(bǔ)了我國(guó)在制造此類設(shè)備方面的空白，其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品，價(jià)格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30%—40%。該項(xiàng)目具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平。目前國(guó)內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購(gòu)了此機(jī)床。
多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)把磨料帶入加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料同時(shí)切割為多片薄片的新型切割加工方法，數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士、日本等國(guó)能制造數(shù)控多線切割機(jī)床。 |
